[实用新型]一种真空腔体的传动结构

摘要

本实用新型公开了一种真空腔体的传动结构,包括定位支撑机构、动力机构和定位机构，定位支撑机构包括齿条，齿条固设在载板装置，动力机构包括动力齿轮，齿条与动力齿轮啮合连接，本实用新型通过动力齿轮与齿条的啮合连接将动力机构的动力传递至载板装置，不仅提高了传动效率，而且载板装置在腔体内的运行位置与理论值差异小，有利于设备整体的精细化管理，本实用新型中动力齿轮与齿条的啮合位置位于载板装置的顶部，针对量产机，载板装置的运行稳定性得到提升，有效降低硅片碎片的风险。