[实用新型]一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置

摘要

本实用新型公开了一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置，兼容硅片输送装置包括支架，以及安装在支架上的驱动装置、至少一个固定输送机构、调节输送机构、与固定输送机构一一对应的补偿组件，驱动装置的驱动端与固定输送机构传动连接，以带动固定输送机构的固定输送带运转；固定输送机构的固定输送带至少缠绕经过补偿组件，补偿组件与调节输送机构传动连接；调节输送机构与固定输送机构并行设置；调节输送机构被配置为可升降；调节输送机构在升降时带动补偿组件同步升降，以带动固定输送带的补偿段进行升降，补偿段为固定输送带缠绕经过补偿组件的部分输送带。通过升降调节输送机构对检测设备提供让位，避免干扰检测光路。