[实用新型]一种多通道芯片检选机有效
| 申请号： | 202221595405.0 | 申请日： | 2022-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN218517228U | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 庄涵宇;蔡奇陵 | 申请（专利权）人： | 长园半导体设备（珠海）有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/36;B07C5/38;B65G49/07 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 黄嘉玲 |
| 地址： | 519000 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型旨在提供了一种多通道芯片检选机。本实用新型包括基台、晶圆组件、定位分拣组件和多通道料盘轨道组件，晶圆组件包括晶圆提篮、晶圆移载组件和晶圆治具，定位分拣组件包括多轴组件、芯片分类定位组件、芯片夹爪和料盘定位组件，多轴组件包括多轴机架、Z轴组件、第一YZ轴组件和第二YZ轴组件，多轴机架设置在基台上，Z轴组件、第一YZ轴组件和第二YZ轴组件均设置多轴机架上，芯片夹爪设置在第一YZ轴组件的活动端，料盘定位组件设置在第二YZ轴组件的活动端，多通道料盘轨道组件包括第一支撑架、第二支撑架、进出料组件、缓存组件和四工位料盘组件。本实用新型可应用于芯片检选机输送轨道技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 芯片 检选机 | ||
【主权项】：
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