[实用新型]一种电弧法制备氮化镓的装置

摘要

本实用新型公开了一种电弧法制备氮化镓的装置，属于氮化镓制备技术领域，包括反应室，反应室的两端端面开设有滑动孔和固定孔，滑动孔内滑动连接有可移动式反应电极，可移动式反应电极的一端固定连接有固定板，固定板的一侧面固定连接有驱动螺杆，驱动螺杆的一端螺纹连接有双向螺纹筒，反应室的一端安装有氮气储罐，氮气储罐的一端固定连接有出气管，出气管的一端与固定孔固定连接，反应室的一端安装有真空泵。本实用新型通过设置有真空泵可以对反应室进行抽真空，然后打开氮气储罐，向反应室内输送氮气，在压力表的作用下，方便控制反应室内的气压值，保证反应室内氮气含量的纯度。