[实用新型]一种MOCVD反应室粉尘清理装置有效
| 申请号： | 202221641898.7 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN217941184U | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 黎静;田青林 | 申请（专利权）人： | 江苏实为半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04;B03C1/02;C30B25/02;B01D46/64;B01D46/76 |
| 代理公司： | 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 | 代理人： | 侯英俊 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MOCVD反应室粉尘清理装置，包括：清理分离箱、吸尘分离机构和防堵塞机构；清理分离箱内设有支撑分隔板；吸尘分离机构设于清理分离箱上，吸尘分离机构包括气泵，气泵上连接有吸气管，支撑分隔板的下方设有电磁铁；防堵塞机构安装于清理分离箱上，防堵塞机构包括电动机，电动机上连接有旋转传动杆，旋转传动杆上连接有连接绳，连接绳的另一端连接有敲打球，旋转传动杆上安装有敲打凸块。本实用新型通过对MOCVD反应室粉尘清理装置相应机构的设置，使得在将MOCVD反应室内的粉碎吸出后能够进行金属粉尘与非金属粉尘的分离，进而方便对金属粉尘的回收，不易造成资源浪费，为使用者降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 反应 粉尘 清理 装置 | ||
【主权项】：
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