[实用新型]一种用于外延炉的监测装置有效

专利信息
申请号: 202221644363.5 申请日: 2022-06-28
公开(公告)号: CN218064109U 公开(公告)日: 2022-12-16
发明(设计)人: 黄小华 申请(专利权)人: 四川雅吉芯电子科技有限公司
主分类号: F16M11/04 分类号: F16M11/04;F16M11/18;F16M13/02;H01L21/66
代理公司: 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 代理人: 陈仁平
地址: 625000 四川省雅安市*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型提供一种用于外延炉的监测装置包括:炉体;把手,所述把手的底部固定连接于炉体的顶部;调节组件,所述调节组件的底部设置于炉体的顶部,所述调节组件包括安装架,所述安装架的底部设置于炉体的顶部,所述安装架的顶部转动连接有转动盘,所述转动盘的底部贯穿安装架的顶部且延伸至安装架的内部,所述转动盘的底部固定连接有螺纹杆。本实用新型提供一种用于外延炉的监测装置,通过螺纹杆的转动带动螺块向下进行移动,螺块的移动带动安装板向下进行移动,进而调节金属温度计工作时的高度位置,操作简单便捷,十分便于调节金属温度计的工作位置,便于工作人员对炉内温度进行监测。
搜索关键词: 一种 用于 外延 监测 装置
【主权项】:
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