[实用新型]晶粒分类机产品表面清洁系统有效
申请号: | 202221683079.9 | 申请日: | 2022-06-30 |
公开(公告)号: | CN217432481U | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 徐敏 | 申请(专利权)人: | 京隆科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B13/00 |
代理公司: | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人: | 陆颖 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶粒分类机产品表面清洁系统,包括晶圆承载盘,挑起结构,晶粒吸取装置以及清洁装置。晶圆承载盘具有一晶圆承载槽,晶圆承载槽用于放置切割后的晶圆;挑起结构设置于晶圆承载槽内,用于挑起位于晶圆承载槽内、经切割后的晶圆内的目标晶粒;晶粒吸取装置包括吸嘴,吸嘴正对晶圆承载盘上的挑起结构设置,以对经挑起结构挑起后的目标晶粒进行吸取;以及,清洁装置,包括吹气管,吹气管上形成有与挑起结构对应设置的吹气口,以使经吹气口吹出的气流能吹向经挑起结构挑起的目标晶粒的表面。本实用新型的晶粒分类机产品表面清洁系统,能够对目标晶粒的表面进行吹气以移除目标晶粒表面的外物,提高晶粒分拣的良率。 | ||
搜索关键词: | 晶粒 分类机 产品 表面 清洁 系统 | ||
【主权项】:
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