[实用新型]光罩

摘要

本实用新型实施例公开了一种光罩；该光罩包括光罩主体、及位于该光罩主体的一侧的准直遮光层，该光罩主体包括至少一第一开口，该准直遮光层包括至少一准直遮光单元，该准直遮光单元包括一准直孔，其中，一该准直遮光单元围绕一该第一开口设置，在垂直于该光罩主体的方向上，一该第一开口与一该准直孔重合设置；本实用新型通过在光罩主体的第一开口周围设置准直遮光单元，准直遮光单元的准直孔与第一开口对应重合，利用准直遮光单元对倾斜光线的遮挡，提高光线的准直性，提高了曝光精度，增强了图案化的解析力，提高了制作精度。