[实用新型]台阶平坦度测量用三坐标探针有效
| 申请号： | 202221700821.2 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN217930265U | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 顾仁宝;孙潇男;李伟东;朱文健;余箫伟;魏韶华;杨国江;张牧;薛弘宇 | 申请（专利权）人： | 江苏凯威特斯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 孙淑苗 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种台阶平坦度测量用三坐标探针，包括第一杆端、第二杆端以及第三杆端；第一杆端沿第一方向延伸；第二杆端连接于第一杆端一端；第三杆端连接于第二杆端的另一端，所述第三杆端的另一端设置有测量头，所述第三杆端沿第一方向延伸；其中，所述第一杆端、第二杆端和第三杆端的宽度均为D1，所述第一杆端和第三杆端之间的距离为D2，所述D2:D1＝2:1‑3:1。进一步地，所述第一杆端远离第二杆端的一端设置有外扩部，所述外扩部的另一端设置有手柄部，所述手柄部的另一端设置有螺纹部，所述外扩部、手柄部和螺纹部均沿第一方向延伸。本申请针对特殊产品的台阶面测量而设计的三坐标探针，能够提高测量的效率和测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 台阶 平坦 测量 坐标 探针 | ||
【主权项】：
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