[实用新型]一种散热装置和镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种散热装置和镀膜设备，涉及光伏镀膜技术领域，以解决现有技术中的散热方式造成了气体的大量消耗，浪费资源的问题。所述散热装置包括：基板、吸热层和冷却组件。吸热层设置于基板的至少部分表面。冷却组件设置于基板的表面、或设置于吸热层的表面，或设置于基板的表面和吸热层的表面。本实用新型还提供了一种镀膜设备。该镀膜设备包括工艺腔室和上述技术方案所述的散热装置，散热装置设置于工艺腔室内，散热装置包括的冷却组件与工艺腔室的外部连通。