[实用新型]一种可叠层镀镍后的退火工装有效
| 申请号： | 202221783057.X | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN218404359U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡泽华;姚欢;刘秀苗 | 申请（专利权）人： | 长沙升华微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/02 | 分类号： | C22F1/02;C22F1/10;C25D5/50;C25D3/12;C21D1/30;C21D9/00 |
| 代理公司： | 长沙轩荣专利代理有限公司 43235 | 代理人： | 丁耀鹏 |
| 地址： | 410699 湖南省长沙市宁*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种可叠层镀镍后的退火工装，包括载物板和限位块，载物板用于放置退火材料，限位块连接于载物板的两侧，限位块的下表面形成有限位槽，限位块的上表面形成有限位凸起，或限位块的下表面形成有限位凸起，限位块的上表面形成有限位槽，限位槽与限位凸起相配合，以使载物板依次叠层，载物板的周向还形成有保护边框，以阻挡退火材料从载物板上滑落。本实用新型通过限位块的合理设置使载物板形成叠层，在不影响退火效果、氢气循环效果的同时极大的提高了炉膛的空间利用率，进而提高了生产效率，且能避免退火材料滑落损坏，减少因人工失误而产生的报废，与安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可叠层镀镍后 退火 工装 | ||
【主权项】：
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