[实用新型]一种晶圆玻璃粉擦除加工装置有效
| 申请号： | 202221787154.6 | 申请日： | 2022-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN218945710U | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 徐竹林 | 申请（专利权）人： | 华林科纳（江苏）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B1/00;B08B5/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 蒋家华 |
| 地址： | 226500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆玻璃粉擦除加工装置，属于晶圆加工技术领域，包括装置支架，所述装置支架上设有晶圆夹持组件，所述晶圆夹持组件安装在装置支架的内部上方，所述装置支架内还安装有擦除组件。通过第一电机带动双向螺杆转动，改变两个夹持杆之间的距离，方便对晶圆进行夹持，通过第二电机带动晶圆转动，与擦布适配，方便晶圆表面的玻璃粉擦除。提前转动旋钮，带动丝杆转动，根据晶圆的厚度调节两个擦除块之间的距离，通过擦布对晶圆表面的玻璃粉进行擦除。当对晶圆表面进行玻璃粉擦除时，启动抽风机，擦除的玻璃粉回收口进入回收箱内，方便灰尘进行回收，回收口的顶端呈漏斗状，方便灰尘进入回收口内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃粉 擦除 加工 装置 | ||
【主权项】：
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