[实用新型]一种自动裂片机的精密旋转平台有效
| 申请号： | 202221810620.8 | 申请日： | 2022-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN217802575U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 廖小伟;张健;郭洪江;杨威 | 申请（专利权）人： | 中电鹏程智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;H01L21/78 |
| 代理公司： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211100 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动裂片机的精密旋转平台，包括与裂片机机架通过导轨滑动连接的底板，在底板上设有用于带动半导体晶圆转动的旋转盘，所述底板采用中空结构，旋转盘通过交叉滚子轴承与底板转动连接，底板在旋转盘的一侧设有用于带动旋转盘转动的驱动机构；本实用新型旋转盘与底板之间通过交叉滚子轴承转动连接，由驱动机构带动旋转盘转动，实现对旋转盘转动精度的精确调整，齿圈采用TCG齿圈，与滚轮的滚销常时接触，无旋转背隙，进一步提高转动精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 裂片 精密 旋转 平台 | ||
【主权项】：
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