[实用新型]均流反应槽有效
| 申请号： | 202221811030.7 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN217989333U | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 戴洪烨;冯华 | 申请（专利权）人： | 无锡釜川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/24 | 分类号： | B01J19/24;H01L21/67;B08B3/08 |
| 代理公司： | 苏州今迈知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32524 | 代理人： | 沈月玲 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了均流反应槽，属于硅片湿制设备、清洁设备技术领域，其包括内置流动液体的槽体，所述槽体中放置有浸没于液体中的若干组硅片，每组所述硅片均对应安装于载具中；设于槽体中用于支撑载具的支架；以及设置在相邻载具之间的竖向隔离结构，所述竖向隔离结构用于约束槽体内的液体沿硅片表面朝向槽体开口方向流动。本方案提高液体从下往上定向流动的能力，降低液体横向流动及涡流滞留的情况，达到提高整个反应槽中化学反应一致性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 | ||
【主权项】：
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