[实用新型]一种改善平面溅射防开裂靶有效
| 申请号： | 202221814099.5 | 申请日： | 2022-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN217809636U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 侯俊男;牛中奇 | 申请（专利权）人： | 东莞市兆广电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 东莞市凯粤智华专利商标代理事务所(普通合伙) 44698 | 代理人： | 牛瑞婷 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种改善平面溅射防开裂靶，包括背板，所述背板的表面通过粘结材料粘结靶材，所述背板的表面设置有导热合金条，所述背板的长度为90‑130mm，宽度为55‑70mm，每个靶片拼接的间隙为0.3mm，所述背板的表面且没有磁场的位置开设有安装槽，所述导热合金条嵌合于安装槽的内腔，所述导热合金条与靶材的间隙在0.2‑1mm之间。本实用新型通过背板、靶材和导热合金条的配合使用，通过导热合金条用来吸走多余的电离子，减少产品的起弧；使靶材在使用过程中溅射面的温度下降与散热性好靶面不容易开裂，从而提升产品镀膜率，给镀膜工作带来了极大的便利，每个靶片拼接的间隙为0.3mm，能够在工作时候为靶片的热膨胀提供空间，不会发生靶片之间挤压的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 平面 溅射 开裂 | ||
【主权项】：
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