[实用新型]一种用于插片机的硅片篮输送装置有效

专利信息
申请号: 202221823686.0 申请日: 2022-07-14
公开(公告)号: CN217768328U 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 章祥静;周裕吉 申请(专利权)人: 无锡荣能半导体材料有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 代理人: 袁诚
地址: 214183 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种用于插片机的硅片篮输送装置,包括底板,所述底板的上表面固定连接有多个支撑板,每两个支撑板之间设置有传送带,传送带的外表面设置有皮带固定夹块,皮带固定夹块之间固定连接有安装板,安装板的底部固定连接有顶升气缸,顶升气缸的输出端固定连接有安装座,安装座的两侧固定连接有中心杆,中心杆的两端分别固定连接有同一个纵向杆,纵向杆的两端分别固定连接有同一个横向杆,横向杆的上表面固定连接有多个支撑座。本实用新型能够在对硅片篮进行输送时,以便于对硅片篮作输送使用,以防硅片篮存在掉篮隐患,以此保障硅片篮在输送过程中的稳定性,提升了插片机的硅片篮输送使用效果。
搜索关键词: 一种 用于 插片机 硅片 输送 装置
【主权项】:
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