[实用新型]一种单晶硅片生产检测装置有效
申请号: | 202221829508.9 | 申请日: | 2022-07-15 |
公开(公告)号: | CN217766053U | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 光善如;程世显;熊文金 | 申请(专利权)人: | 安徽晶瑞新材料有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 247000 安徽省池州*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅片生产检测装置,包括检测装置外架、检测控制台、移动检测螺杆和晶片放置架,所述检测装置外架上表面固定连接有检测控制台,所述检测控制台外表面设置有硅片数据显示器,本实用新型通过设置的移动检测螺杆,在对晶片放置架上端不同位置的单晶硅片检测时,通过螺杆控制电机控制移动检测螺杆转动,使移动检测螺杆外侧螺纹连接的移动检测环一和移动检测环二拉动移动检测滑块以水平方向移动,在移动检测滑块移动时,与移动检测滑块下端通过连接固定架相连的外观检测器能够随之移动,以此方式能够通过螺杆控制电机控制外观检测器在晶片放置架上端不同位置的单晶硅片进行检测,较为便捷。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 生产 检测 装置 | ||
【主权项】:
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