[实用新型]一种LED芯片对位装置有效
| 申请号： | 202221860627.0 | 申请日： | 2022-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN217879985U | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李慧敏;钟伟华;彭足超;李景浩;鲁日彬;蔡武 | 申请（专利权）人： | 福建兆元光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 唐燕玲 |
| 地址： | 350109 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LED芯片对位装置，在基板和光罩上设置有曝光机定位识别标记和镜检检验标记，可通过基板和光罩上的曝光机定位识别标记进行曝光机对基板各膜层的自动对位；可通过基板和光罩上的镜检检验标记，对套合情况进行目检，由于镜检检验标记为十字形状，因此镜检时可更方便快速地检验出图形偏移异常，有效提高检验效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 芯片 对位 装置 | ||
【主权项】：
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