[实用新型]一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置

摘要

本实用新型涉及晶圆片集料技术，用于解决晶圆片在夹持堆叠时容易划伤晶圆片同时晶圆片堆叠时容易偏移倒塌的问题，具体为一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置；本实用新型中通过吸盘对晶圆片进行吸取，避免了夹持装置损坏晶圆片的可能，从而保证晶圆片在生产中的良品率，同时双模组保证了晶圆片拿取过程中的运动稳定性，避免晶圆片与装置型材发生碰撞，通过在晶圆片的托板上开设多组限位插孔，使得限位杆可以插接在不同位置的两组相对称的限位插孔中，通过限位杆对堆叠的晶圆片辅助定位，使得晶圆片组堆叠整齐，防止偏移倒塌，而越靠近中线的限位插孔在间距越小，使得限位杆能够适配不同尺寸的晶圆片，提高了装置在使用时的普适性。