[实用新型]一种针对等离子设备的电极保护机构

摘要

本实用新型公开了一种针对等离子设备的电极保护机构，包括炉内电极杆、铜电极、炉底电极管、炉底电极管法兰、电极法兰、电极固定套、电极二段固定套和金属保护套，电极固定套插入到电极法兰底部，完全贴合，又填满炉底电极管起到隔绝及与支撑作用，电极二段固定套为金属保护套起到定位固定作用，且方便维护，通电以后炉内电极杆会产生辉光放电，金属保护套内的间隙保护就会起到辉光的隔绝作用，保护了电极机构及设备受到辉光的影响，本实用新型解决了真空离子镀膜电极存在的弧光放电现象，极大的提高了工作效率及设备寿命。