[实用新型]一种半导体设备气体泄漏检测装置有效
| 申请号： | 202221893687.2 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN217819213U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 吴波;冯志超 | 申请（专利权）人： | 上海欣项电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04 |
| 代理公司： | 深圳市中智立信知识产权代理有限公司 44427 | 代理人： | 刘蕊 |
| 地址： | 201600 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备气体泄漏检测装置，包括机架，所述机架的上方设有两个对称设置的测试框，且每个所述测试框的顶部均设有盖板，两个所述测试框均与机架的顶部滑动连接；还包括：过滤箱，所述过滤箱水平位于一个盖板的上方，且所述过滤箱与盖板固定连接，一个测试框的旁侧设有多个沿其长度方向等间距竖直设置的连通管，且每个所述连通管的顶端均与过滤箱相连通；驱动电机，安装在机架的底部，且所述驱动电机的输出端贯穿机架并延伸出去，所述驱动电机的输出端上安装有驱动伞齿，该半导体设备气体泄漏检测装置，能够对半导体设备传输管道泄漏出的气体进行稀释，从而避免泄漏的有毒气体对周围环境造成危害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 气体 泄漏 检测 装置 | ||
【主权项】：
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