[实用新型]组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备有效
| 申请号： | 202221925068.7 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN218080966U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;袁浩;何雄飞 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70;G01N21/01;G01N21/88;B23K101/36 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，包括固定支撑系统、光学系统、上振镜加工系统和侧振镜加工系统，固定支撑系统上设置有运动模组，固定支撑系统包括大理石底座，大理石底座沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁，大理石横梁沿着X轴方向设置且通过大理石立柱安装在大理石底座上。本实用新型光学系统的激光器经过分光模组分光进入垂直振镜和水平振镜，配合多轴组合运动平台，实现高精度三维立体空间的多面体微加工。 | ||
| 搜索关键词： | 组合式 三维 激光 刻蚀 检测 设备 | ||
【主权项】：
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