[实用新型]用于硅片减薄机的砂轮调节装置有效

专利信息
申请号: 202221980216.5 申请日: 2022-07-29
公开(公告)号: CN217860386U 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 胡敬祥;邱祥文;王选;胡旭南 申请(专利权)人: 深圳市方达研磨技术有限公司
主分类号: B24B7/22 分类号: B24B7/22;B24B47/12;B24B41/06;B24B41/00
代理公司: 深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙) 44527 代理人: 郭晓露
地址: 518000 广东省深圳市光明区公明街道上村社区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型属于砂轮调节领域,尤其是用于硅片减薄机的砂轮调节装置,针对现有的将硅片通过砂轮进行粗磨减薄,减薄完成后,再将减薄后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序,使得硅片制作工序十分繁琐,增加了工作人员的工作量,同时也降低了工作效率的问题,现提出如下方案,其包括外箱,所述外箱的内顶部固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的一端固定连接有第一连接板,所述第一连接板的下端通过转动组件转动连接有第二连接板,两组所述转动轴的一端分别固定连接有粗磨砂轮和细磨砂轮;本实用新型在使用时,可以对硅片放进行粗磨和细磨用于硅片减薄,使得硅片制作工序十分简单,降低了工作人员的工作量,同时也提高了工作效率。
搜索关键词: 用于 硅片 减薄机 砂轮 调节 装置
【主权项】:
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