[实用新型]一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构有效

专利信息
申请号: 202222027635.3 申请日: 2022-08-03
公开(公告)号: CN217709769U 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 周炳 申请(专利权)人: 张家港意发功率半导体有限公司
主分类号: C30B31/16 分类号: C30B31/16
代理公司: 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 代理人: 徐伟华
地址: 215600 江苏省苏州市张家港市经济技*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构,其包括:O2源、N2源、DCE源、三通管接头、点火枪和炉管,所述三通管接头含有相互连通的第一端口、第二端口和第三端口,所述O2源与第一端口之间设置有第一气路,所述第二端口与点火枪的一个进气口之间设置有第二气路,所述DCE源的出气口与第三端口之间设置有第三气路,所述N2源与点火枪的另一进气口之间设置有第四气路,所述点火枪的输出端与炉管相连接,所述N2源与DCE源的进气口之间设置有第五气路,所述第一气路上设置有第一气动阀,所述第四气路上设置有第二气动阀,所述第五气路上设置有第三气动阀,让小流量的N2先进入DCE源,置换出DCE,进行DCE和O2的提前混合,减少碳化现象。
搜索关键词: 一种 用于 点火 形式 扩散 dce 结构
【主权项】:
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