[实用新型]一种用于气体分配盘的C型件

摘要

本实用新型涉及一种用于气体分配盘的C型件，所述C型件包括C型主体以及设置于所述C型主体的上下两表面之间，且从所述C型主体的内壁面及左右端面露出的C型空腔；所述C型空腔使所述C型主体的内部分别形成腔体内上表面，腔体内下表面及腔体内壁面；所述C型件还包括设置于所述C型主体的上表面的中部，且延伸至所述C型主体的左右端面的C型壁，以及分别位于所述C型壁的壁内一侧及壁外一侧的第一贯通孔及第二贯通孔。通过将所述C型件用于气体分配盘可以稳定气体分配盘内部的气体流动状态，稳定内部气压，实现优异的气体分流效果。