[实用新型]一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构有效
| 申请号： | 202222064291.3 | 申请日： | 2022-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN217709763U | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 于文明;张小刚;王胜亚;何小三;王保生 | 申请（专利权）人： | 江苏芯恒惟业电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B28/12;C30B29/36 |
| 代理公司： | 上海得民颂知识产权代理有限公司 31379 | 代理人： | 傅云 |
| 地址： | 215335 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于PVT法生长碳化硅晶体领域，具体涉及一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构，包括同心设置的外环架和内环架，所述外环架和所述内环架的夹持区间内环形阵列安装有若干个石墨片，相邻的所述石墨片之间留置有通气槽；挡片机构包括开设缺口的出气挡片和进气挡片，所述出气挡片和所述进气挡片分别贴附所述石墨片的上下表面，两者的中部连接有贯穿所述内环架的转轴，所述出气挡片和所述进气挡片与所述转轴同步转动；通过挡片处的气流方式，使气体的传输方向得到改变，仅通过挡片缺口和通气槽的配合的通道处进行气体的流动，后续通过转轴带动两挡片旋转，使气体沿不同位置上浮，使碳化硅沿着生长点螺旋结晶，提升碳化硅生产速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 引导 碳化硅 气体 流向 石墨 结构 | ||
【主权项】：
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