[实用新型]扩散炉进气结构及扩散炉有效
申请号: | 202222136581.4 | 申请日: | 2022-08-15 |
公开(公告)号: | CN217869195U | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 梁笑;毛文龙;祁文杰;翟俊;高晓畅 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 潘登 |
地址: | 518122 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型属于太阳能电池生产加工技术领域,具体公开了一种扩散炉进气结构,该扩散炉进气结构的进气管的进气端与气源连通,出气端与转接头连通,转接头的一端穿过匀流件设置,气源产生的气体经过进气管和转接头后,从匀流件的一侧进入到另一侧,通过转接头和匀流件的匀流作用后,气源产生的气体能够在空间内均布,提高了磷源均匀性,有助于在电池片上形成良好的PN结。本实用新型还包括一种扩散炉,包括上述的扩散炉进气结构。 | ||
搜索关键词: | 扩散 炉进气 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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