[实用新型]扩散炉进气结构及扩散炉有效

专利信息
申请号: 202222136581.4 申请日: 2022-08-15
公开(公告)号: CN217869195U 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 梁笑;毛文龙;祁文杰;翟俊;高晓畅 申请(专利权)人: 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
主分类号: C30B31/16 分类号: C30B31/16
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 潘登
地址: 518122 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型属于太阳能电池生产加工技术领域,具体公开了一种扩散炉进气结构,该扩散炉进气结构的进气管的进气端与气源连通,出气端与转接头连通,转接头的一端穿过匀流件设置,气源产生的气体经过进气管和转接头后,从匀流件的一侧进入到另一侧,通过转接头和匀流件的匀流作用后,气源产生的气体能够在空间内均布,提高了磷源均匀性,有助于在电池片上形成良好的PN结。本实用新型还包括一种扩散炉,包括上述的扩散炉进气结构。
搜索关键词: 扩散 炉进气 结构
【主权项】:
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