[实用新型]一种晶圆理片器

摘要

本申请提供了一种晶圆理片器，属于晶圆理片器技术领域。该晶圆理片器包括旋转组件和限位组件，通过夹持件对晶圆花篮机械能夹持固定，防止晶圆花篮出现晃动和偏移的作用，通过滚轮和晶圆片边缘的摩擦带动晶圆片沿逆时针旋转，当晶圆片卡口接触到卡板时，通过晶圆片自身的重力作用，晶圆片不再旋转，待所有晶圆片都不再旋转后，通过调节卡板的位置来使晶圆片卡口到达需要停留的位置，直接将滚轮与转板分离，安装时通过滚轮两端与转板的滑动摩擦力可以对滚轮进行定位，防止滚轮在转动时脱离转板，进而方便对滚轮进行拆卸或者更换，同时方便对晶圆花篮进行限位，防止晶圆花篮出现晃动的现象，从而提高了实用性。