[实用新型]一种靶材切割固定装置有效

专利信息
申请号: 202222152996.0 申请日: 2022-08-16
公开(公告)号: CN218110078U 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 王永超;居炎鹏;李心然;赵泽良;王留土;范振清;史豪杰;郑海强;杨志刚 申请(专利权)人: 河南东微电子材料有限公司
主分类号: B23Q3/08 分类号: B23Q3/08
代理公司: 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 代理人: 刘文丽
地址: 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型涉及一种靶材切割固定装置,包括底座、外框架、托料板、上侧夹持机构、侧部夹持机构,外框架包括两相对设置的竖板以及连接两竖板顶部的顶板,两托料板相对的上边沿用于托置靶坯下端;上侧夹持机构设置于顶板上,包括上压板、上活塞缸,上活塞缸的活塞杆用于驱动上压板对靶坯上端进行顶压;侧部夹持机构设有两个、用于分别设置在靶坯的水平两侧,包括侧活塞缸、侧夹板,侧夹板用于受到侧活塞缸推动作用相对托料板转动、夹紧靶坯侧部。本靶材切割固定装置能够解决目前靶材切割装置夹持机构拆装速度慢、费时费力的技术问题,具有靶坯拆卸省时省力,靶材切割效率高的特点。
搜索关键词: 一种 切割 固定 装置
【主权项】:
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