[实用新型]一种排气通道防护组件和单晶炉的热场器件有效

专利信息
申请号: 202222156699.3 申请日: 2022-08-16
公开(公告)号: CN219297706U 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 龚柳全;谭明科;段丽超;吴建业;陈斌;郑维奇;陶云婷;胡昌丽 申请(专利权)人: 丽江隆基硅材料有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/14
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 赵娟
地址: 674802 云南省丽*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型实施例提供了一种排气通道防护组件及单晶炉的热场器件。该排气通道防护组件包括护盖和保温件;保温件设置在护盖的顶部,护盖的底部为至少两个支撑臂,相邻两个支撑臂间隔设置。这样,不仅可以可以通过两个支撑臂之间的间隙可以使气流流入排气通道,减少护盖轴线方向上热量的流失,进而在保证正常排气的情况下,简化护盖的加工工艺,降低护盖底部的损坏率,使得护盖的使用及生产制造成本得到降低,而且通过保温件使得排气通道防护组件的保温性能进一步提升,可以阻挡热量向法兰结构的底部传导,进而有利于提升排气通道防护组件底部设置的单晶炉的热场器件保温性能。
搜索关键词: 一种 排气 通道 防护 组件 单晶炉 器件
【主权项】:
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