[实用新型]具有高功率容量的薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器有效
| 申请号： | 202222169519.5 | 申请日： | 2022-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN218888515U | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 闫鑫;张智欣;陈长娥 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 牟森 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜体声波谐振器技术领域，尤其涉及一种具有高功率容量的薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括依次层叠设置的支撑衬底、导热层、第一电极层、压电层、第二电极层和钝化层，第一局部电极层和导热层连接有第一导电焊盘，且第一导电焊盘延伸至支撑衬底之外，第二局部电极层和导热层连接有第二导电焊盘，且第二导电焊盘延伸至支撑衬底之外，导热层连接有导热焊盘，且导热焊盘延伸至支撑衬底之外；导热焊盘连接导热层并延伸至支撑衬底之外，散热能力强，功率容量大。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 功率 容量 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
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