[实用新型]坩埚传动组件与晶体生长装置有效
| 申请号： | 202222196863.3 | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN217973488U | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 于腾昊 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种坩埚传动组件与具有其的晶体生长装置。该坩埚传动组件用于晶体生长装置中，包括：坩埚轴，所述坩埚轴具有坩埚安装部；连接轴，所述连接轴与所述坩埚轴通过螺纹连接；驱动轴，所述驱动轴与所述连接轴通过螺纹连接，且所述驱动轴还与所述坩埚轴通过螺纹连接。根据本实用新型的坩埚传动组件能避免传动力集中在同一位置的螺牙上，能延长坩埚轴的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 传动 组件 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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