[实用新型]一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构有效
| 申请号： | 202222197943.0 | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN217966712U | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 陈铁龙;程龙祥 | 申请（专利权）人： | 谷微半导体科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;H01L21/673 |
| 代理公司： | 南通云创慧泉专利代理事务所(普通合伙) 32585 | 代理人： | 郭宗胜 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于领域，提供了一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构上、用于夹取花篮，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构，以及连接在伸缩机构上、用于带动夹持机构张闭的动力机构；动力机构包括：用于连接夹持机构的两个传动杆，连接在传动杆上的转动块，与转动块连接、用于带动转动块转动的位移机构；其中，转动块两侧对称开设有倾斜的滑槽，位移机构两侧分别连接有滚轮，滚轮放置在滑槽内。本实用新型的用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，用于解决机械手动力控制稳定的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 夹取晶圆 花篮 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于谷微半导体科技（江苏）有限公司，未经谷微半导体科技（江苏）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222197943.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电动执行器界面操作盒
- 下一篇：一种镜片检测装置
