[实用新型]裂片机有效
申请号: | 202222212753.1 | 申请日: | 2022-08-23 |
公开(公告)号: | CN218196137U | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 邹志勇;梁国炤;胡心悦;王利彪;周福海;余俊华;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/67;H01L21/304 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种裂片机。裂片机包括:机台;受台组件,设于机台上,用于对料片的劈裂位置进行支撑;受台组件包括第一受台及第二受台,第一受台与第二受台共同支撑料片,第一受台与第二受台均能沿第一方向移动;第一滑轨,沿第一方向设于机台上,第一受台及第二受台均与滑轨滑动连接;劈刀组件,设于受台组件上方,用于对受台组件上的料片进行劈裂。本申请提供一种稳定性、刚度及精度均较高的裂片机。 | ||
搜索关键词: | 裂片 | ||
【主权项】:
暂无信息
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