[实用新型]一种单晶硅棒拉制装置有效
申请号: | 202222214385.4 | 申请日: | 2022-08-22 |
公开(公告)号: | CN218596568U | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 陈永康;朱永刚;董升;李侨;任伟康;刘阳;杜婷婷 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 周海业 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制装置,所述单晶硅棒拉制装置包括:炉体;坩埚,所述坩埚设置于所述炉体内,用于容纳硅液,以从所述硅液中生长单晶硅棒;换热器,所述换热器设置在所述炉体内,且位于所述坩埚的上方;热屏,所述热屏套设在所述换热器外,且与所述换热器之间形成间隙;以及,环状的磁控装置,所述磁控装置嵌设于所述换热器与所述热屏之间的间隙内,且靠近所述硅液设置,以在所述硅液内形成磁场。本申请实施例中,所述磁控装置可以在所述硅液内形成磁场,抑制所述硅液内部的热对流,降低所述硅液中的杂质含量,提高所述单晶硅棒的拉晶品质。而且,无需改变现有的单晶硅棒装置的原有部件即可实施,通用性较好,实施成本较低。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 拉制 装置 | ||
【主权项】:
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