[实用新型]过渡腔室和镀膜设备有效
申请号: | 202222238275.1 | 申请日: | 2022-08-24 |
公开(公告)号: | CN218026326U | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 龙梅丽 | 申请(专利权)人: | 乐金显示光电科技(中国)有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54;C23C16/458;C23C14/50 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 许利波 |
地址: | 510530 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种过渡腔室和镀膜设备,其中,过渡腔室包括主体,主体内设置有腔体,腔体内部设置有基座,基座上间隔设置有支撑架,支撑架用于支撑面板,支撑架通过连接件与基座连接,连接件设置在支撑架长度方向的两端,支撑架的下表面凹陷设置有凹槽,支撑架具有两个相对的周侧面,两个周侧面与支撑架的长度方向平行,凹槽至少与其中一个周侧面连通,支撑架的下方还设置有加强结构,加强结构支撑凹槽的槽底。通过在支撑架的下表面设置凹槽,可以增大支撑架与基座之间的间隙,方便清洁工具可以伸入支撑架和基座之间的区域中进行擦拭清洁;通过设置加强结构,可以为支撑架提供强度支撑,避免支撑架强度过小而产生弯曲变形。 | ||
搜索关键词: | 过渡 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
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