[实用新型]振动传感器有效
申请号: | 202222250241.4 | 申请日: | 2022-08-25 |
公开(公告)号: | CN218450495U | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 孟珍奎 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R3/00 | 分类号: | H04R3/00;H04R19/00;H04R19/04;G01H17/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供的振动传感器包括具有收容腔的电路板以及在所述电路板的相对两侧分别设置的具有第一振动腔的第一振动组件和具有第二振动腔的第二振动组件;所述电路板上设有将所述第一振动腔与所述收容腔连通的第一通孔以及将所述第二振动腔与所述收容腔连通的第二通孔,所述第一振动组件振动使得第一振动腔内气压变化并通过所述第一通孔传递至所述MEMS芯片,所述第二振动组件振动使得所述第二振动腔内气压变化并通过所述第二通孔传递至所述MEMS芯片;本实用新型提供的振动传感器中的MEMS芯片可更好地感应由两组振动组件产生的振动,并将感应的振动信号转化为电信号,有效提高了灵敏度的同时信噪比也有较大提升。 | ||
搜索关键词: | 振动 传感器 | ||
【主权项】:
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