[实用新型]一种晶圆位置精确扫描装置

摘要

本实用新型涉及晶圆技术领域，且公开了一种晶圆位置精确扫描装置，包括扫描箱、支撑腿，所述扫描箱内部设置有夹持机构，所述夹持机构包括有安装板、电机、螺纹杆、移动板、滑杆一，所述安装板一端与扫描箱一侧固定连接，所述安装板顶部与电机保护罩底部固定连接，所述电机保护罩内壁与电机一端固定连接，所述电机输出端与螺纹杆一端固定连接，所述螺纹杆另一端通过轴承与扫描箱内壁转动连接，所述螺纹杆外壁与移动板内壁螺纹连接，所述移动板内壁与滑杆一外壁滑动连接，实现了能够将晶圆快速的进行夹持固定，避免了影响到晶圆位置的精确扫描，提高了装置的工作能力，并且能够快速带动晶圆进行移动。