[实用新型]一种MEMS微镜阵列有效
| 申请号： | 202222262196.4 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN218099784U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 李伟;李芳萌;徐静 | 申请（专利权）人： | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS微镜阵列，MEMS微镜基板包括连接在一起的呈阵列分布的MEMS微镜，且MEMS微镜的正面具有电极焊盘；布线基板具有开孔，且布线基板的背面具有焊盘；通过将布线基板固定于MEMS微镜基板上方，使得焊盘与电极焊盘对应电连接，以实现MEMS微镜基板与布线基板的直接电连接，且开孔与反射镜一一对应设置以显露反射镜。本实用新型可减少传输路径降低损耗、显著提高MEMS微镜阵列的成品率、降低MEMS微镜阵列的加工制造难度、降低制造成本，从而有助于进一步拓展MEMS微镜阵列的应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 阵列 | ||
【主权项】：
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