[实用新型]过滤装置和晶体生长装置有效
| 申请号： | 202222297211.9 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN218188598U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 颜子棋;李向阳 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24;C30B35/00;B01D46/58;B01D46/76;B01D46/71 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 于腾昊 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种过滤装置和晶体生长装置，所述过滤装置包括：壳体，壳体内具有过滤腔，壳体上形成有与过滤腔连通的进气口和出气口，过滤腔的底部设有排尘口；过滤件，过滤件设于过滤腔内且位于进气口和出气口之间，过滤件用于过滤粉尘；振动机构，振动机构适于与过滤件相连，振动机构用于驱动过滤件振动。根据本实用新型的过滤装置，通过在过滤腔内设有过滤件，用来过滤气体中的粉尘；并且设置了振动机构与过滤件相连，振动机构可对过滤件的滤芯外表面进行振动除尘，延长过滤件的使用时间，由此，提高过滤装置的寿命；在过滤腔的底部还设有排尘口，可以定期的将粉尘通过排尘口排出，有效避免罐体内残余粉尘回流到晶体生长设备腔体内。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 装置 晶体生长 | ||
【主权项】：
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