[实用新型]一种高性能DPS压差传感器有效
申请号: | 202222350316.6 | 申请日: | 2022-09-05 |
公开(公告)号: | CN218098137U | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 陆剑;李悦;汤华惠;侯帆 | 申请(专利权)人: | 江苏奥力威传感高科股份有限公司 |
主分类号: | G01L13/06 | 分类号: | G01L13/06;G01L19/14;G01N15/08 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 董旭东 |
地址: | 225000 江苏省扬州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了压差传感器领域内的一种高性能DPS压差传感器,包括壳体组件,壳体组件的高压侧和低压侧分别设置有高压侧密封组件和低压侧密封组件,壳体组件内设置有EMA支架,EMA支架通过限位结构与壳体组件固定连接,EMA支架的一侧设置有低压槽,低压槽与低压侧密封组件配合形成低压密封腔,低压槽上设置有MEMS元件,EMA支架的另一侧设置电子模块元件,电子模块元件与MEMS元件处于EMA支架的同一平面;由高压侧密封组件和低压侧密封组件将壳体组件全部封闭,生产难度低,提高传感器的密封性,通过限位结构将EMA支架固定在壳体组件内,不会因为震动等原因造成移位,抗震性能好,由本实用新型可以用于测量捕集器前后通道的压力差。 | ||
搜索关键词: | 一种 性能 dps 传感器 | ||
【主权项】:
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