[实用新型]一种真空波纹管加热器有效
| 申请号： | 202222352078.2 | 申请日： | 2022-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN218387968U | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 程晋波 | 申请（专利权）人： | 合肥三越半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/40 | 分类号： | H05B3/40;H05B3/06;H05B3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空波纹管加热器，涉及半导体及真空实验领域，包括真空腔体，所述真空腔体顶部安装有加热组件，加热组件包括密封圈，密封圈固定连接在真空腔体上表面，密封圈顶部安装有轴承套，轴承套底部螺纹连接有若干个安装螺丝，轴承套通过安装螺丝固定在密封圈上，轴承套为中空结构，轴承套内腔顶部安装有卡簧，轴承套内腔安装有直线轴承，直线轴承内部滑动连接有升降轴，升降轴与卡簧相抵接，升降轴与密封圈滑动连接，升降轴底端固定连接有加热器本体，密封圈底部固定连接有波纹管。本实用新型通过设置直线轴承、卡簧、波纹管和升降轴，既能使得加热器本体进行上下移动，又能保证真空腔体内部的密封性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 波纹管 加热器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥三越半导体科技有限公司，未经合肥三越半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222352078.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有快拆安装结构的永磁涡流联轴器
- 下一篇：一种电路板加工用贴片装置
