[实用新型]一种光刻机镜头保护装置有效
| 申请号： | 202222364128.9 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN218481760U | 公开（公告）日： | 2023-02-14 |
| 发明（设计）人： | 张蓬成 | 申请（专利权）人： | 上海诺驰精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海索源知识产权代理有限公司 31431 | 代理人： | 李燕 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机技术领域，具体涉及一种光刻机镜头保护装置，包括保护装置本体和连接块，安装装置包括安装框、两个安装组件和辅助固定组件，安装组件包括固定块、转动轴、握把、波形管、抵块、第一弹簧和抵板保护装置本体用于保护光刻机镜头，连接块用于连接安装装置，固定块支撑重量转动轴和握把，捏动握把使得握把张开，安装框用将光刻机镜头插入进保护装置本体松开握把，波形管具有良好的韧性以及回弹性，配合转动轴将握把拉回，使得抵块上的第一弹簧和抵板抵住光刻机镜头从而达到固定，捏动握把即可取下保护装置本体，从而解决保护装置在安装和拆卸比较繁琐的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 镜头 保护装置 | ||
【主权项】：
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