[实用新型]一种用于FOUP污染物检测的取样系统有效
| 申请号： | 202222394745.3 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN218444643U | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 刘云;刘波 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/14 | 分类号： | G01N1/14 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林安安 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于FOUP污染物检测的取样系统，包括取样器，取样器通过三通阀分别连接超纯水管路和机械泵管路，所述取样器下方设置有出水管，所述取样器与一XY运动平台配合在FOUP上方移动位置，所述出水管能够插入到FOUP内。本实用新型通过XY运动平台实现取样器的自动移动，可根据FOUP的结构控制取样器的路径，取样器通过三通分别与超纯水管路到FOUP内，或者将出水管插入到FOUP内机械泵管路连接，从而可以根据需要选择释放超纯水和吸取清洗后的液体，使用一套设备完成注水和吸水两个过程，降低成本，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 foup 污染物 检测 取样 系统 | ||
【主权项】：
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