[实用新型]一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置

摘要

本实用新型公开了单晶硅片清洗设备技术领域的一种大尺寸单晶硅片高效清洗装置，包括储液箱、清洗箱和热风机，所述清洗箱固定连接在所述储液箱的顶部前侧，所述热风机固定连接在所述储液箱的顶部后侧，所述清洗箱的顶部中间处固定连接有电机，所述电机的动力输出轴底端固定连接有转轴，所述转轴的底端贯穿所述清洗箱并延伸至所述清洗箱的内腔，且固定连接有支架，所述支架的内侧壁之间固定连接有硅片放置架，所述清洗箱的内腔左右侧壁固定连接有超声波发生器，该大尺寸单晶硅片高效清洗装置，结构设计合理，使得装置可以快速高效的进行清洗，提高工作效率，并且加快大尺寸单晶硅片干燥时间，增加生产效率。