[实用新型]一种量子芯片加工用夹具有效
| 申请号： | 202222466532.7 | 申请日： | 2022-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN218203016U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 合肥本源量子计算科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种量子芯片加工用夹具，用于装夹衬底和掩模，所述量子芯片加工用夹具包括第一夹持元件，所述第一夹持元件用于固定所述衬底；以及，第二夹持元件，所述第二夹持元件用于固定所述掩模；其中，所述第一夹持元件与所述第二夹持元件固定连接，所述衬底与所述掩模层叠设置。本申请中，通过设置第一夹持元件、第二夹持元件，分别对衬底和掩模进行夹持，使衬底和掩模分别保持固定，并且，所述第一夹持元件与第二夹持元件固定连接，从而使得衬底和掩模能够保持相对固定，避免在量子芯片加工过程中衬底与掩模产生相对位移，从而有效保证了量子芯片生产的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量子 芯片 工用 夹具 | ||
【主权项】：
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