[实用新型]一种量子芯片加工工装有效
| 申请号： | 202222466618.X | 申请日： | 2022-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN218203017U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 合肥本源量子计算科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/04;G06N10/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种量子芯片加工工装，包括承载台，所述承载台用于承载衬底；还包括用于固定掩模的固定元件，所述掩模与所述衬底层叠设置；以及调节组件，所述调节组件分别与所述固定元件和所述承载台连接，用于调节所述掩模与所述衬底的相对位置。本申请中，通过设置承载台承载衬底，通过设置固定元件使掩模保持固定，所述调节组件分别与所述固定元件和所述承载台连接，利用调节组件可以方便地调节承载台与固定元件的相对位置，从而能够准确便捷地调节掩模与衬底的相对位置，避免在加工过程中衬底与掩模相互错位，从而提高量子芯片成品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量子 芯片 加工 工装 | ||
【主权项】：
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