[实用新型]一种氯硅烷杂质检测的前处理装置

摘要

本实用新型公开了一种氯硅烷杂质检测的前处理装置，属于多晶硅生产技术领域，包括加热装置，加热装置上设有用于放置氯硅烷的盛放装置，盛放装置上方设有石英罩，石英罩与出气管相连，出气管与氢氟酸吸收装置相连。氯硅烷放置在盛放装置，加热装置对盛放装置进行加热使得氯硅烷挥发，盛放装置中只余下杂质，挥发的氯硅烷在氢氟酸吸收装置内吸收，放置污染空气；待氯硅烷挥发完毕后即可得到氯硅烷中的杂质，将该杂质单独除去即可检测。本装置具有提升了检测结果、避免闪爆，且对环境无害。