[实用新型]一种晶圆片传送装置有效
| 申请号： | 202222469168.X | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN218087863U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 顾少俊;耿伟;周航;余珺 | 申请（专利权）人： | 鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 南通亿旸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32578 | 代理人： | 杨利娟 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆片传送装置，包括底座，所述底座上设有安装架，所述安装架内设有伺服电机，所述安装架上设有多个机械臂，每个所述机械臂端部均设有传送机构，所述传送机构包括安装件，所述安装件下设有连杆，所述连杆下设有吸盘箍，所述吸盘箍内设有通气管，所述通气管下设有双层支管，所述双层支管下设有双层吸盘；本实用新型结构简单，设计新颖，提高了晶圆片的传送效率和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 传送 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司，未经鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222469168.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
