[实用新型]一种晶棒检测装置及设有该检测装置的自动检测机构有效
| 申请号： | 202222488576.X | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN218567425U | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;杨骅;李博;丁天时;高翔 | 申请（专利权）人： | 天津环博科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/02;G01R27/02 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶棒检测装置，包括安装台和探针，在所述安装台的一侧设有安装座，在所述安装座远离所述安装台的一侧面还设有垫片，所述探针凸设于所述垫片并连接在所述安装座上；所述垫片被构造为柔性结构。本实用新型一种晶棒检测装置，结构简单，其探头具有浮动功能，可缓冲探头与晶棒端面触点的冲击力，而且还可确保探头上的探针在测量时始终与晶棒的端面保持垂直；还可延长探头的使用寿命。本实用新型还提出一种设有该检测装置的自动检测机构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 设有 自动检测 机构 | ||
【主权项】：
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